真空箱氦检漏基本功能
操作者把工件放在真空箱内,将工件接口与真空箱内的快速接头进行连接,在真空箱门关闭后,系统能全自动的完成大漏检测、工件强度检测、抽空、充氦、检漏、回收整个过程,生产节拍快,检漏精度高。工艺流程编辑A1:安装工件-----关真空箱门-----真空箱抽真空,同时工件内充高压氮气-----大漏及强度检测;B1:若A1检测不通过,则系统报警,大漏工件序号显示-----检测程序中止;B2:若A1检测通过,放掉氮气------对工件抽真空------真空箱内的氦气本底抑零-----工件内充入氦气-------真空模式,微漏检测;C1:若B2检测不通过,则系统报警-----循环检,小漏工件序号显示------检测程序中止;C2:若B2检测通过,真空箱内充入大气,同时工件内氦气回收-------真空箱开门,检测完成。
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氦质谱检漏仪的基本原理与结构
氦质谱检漏仪一般由质谱管,真空系统和电子系统组成。其中质谱管包括离子源,充气柜氦检漏设备定制,质量分析器和离子检测器;真空系统-般由分子泵机械泵、电磁阀和真空计组成。离子源的作用是将原子电离成带电离子并聚焦成束,以-定能量注入质分析器,目前常用的电子轰击型离子源有尼尔型和震荡型两种形式。质分析器的作用起将各类离子按其质荷比的不同实现分离。子检测器的作用是手机质星分析器所选定的氦离子流并加以放大,再通过比对运算,得出泄漏率
真空系统的作用是获取质谱过程所需的真空,同时完成被检件的抽空和氦气的引入。空系统-般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成组成。按照真空系统的不同结构,检漏仪分为常规系统和逆扩散两种。常规系统多用于早期的氦质谱检漏仪,该种检漏仪的被检件与高真空部分直接相通,由被检件泄入的氮气首先到达质谱管被检到,因而具有较高的灵敏度,真空氦检漏设备定制,但是会对质谱管有污染。逆扩散系统检漏仪与常规系统相比,被检件只与低真空相通,因
此只需将被检工件抽至低真空就能进行检漏,氦气是逆扩散到质谱管,不会对系统有污染,因此被广泛采用,已成为市场的主品。
机械泵的工作方式不-样,分为干泵检漏仪和油泵检漏仪,真空箱氦检漏设备定制,油泵工作会有油雾排出,污染工作环境,干泵没有油雾排出对工作环境没有影响。在半导体洁净车间都是使用干泵检漏仪。
空调检漏系统
不同类型的泄漏有着不同的表现。泄漏处的几何结构、压力、材料、湿度、温度以及流量都是影响泄漏表现的因素。过多干扰因素给检漏工作带来了很大的挑战。
以下三种难检测类型是小编搜集和分析的案例。
类型 1:射束泄漏
在使用示踪气体检漏时,有时可能只能定位极狭窄区域。与此同时,您却得到泄漏指示,但是与测试对象远离(几英尺/分米),因而原因不明。
您发现的泄漏可能是非常狭小且高速射出示踪气体细束,这几乎跟激光器射出的窄激光束的情形一样。离泄漏点越远,射束就散开得越大,但即便距离泄漏点相当远的距离,射束可能依然非常细窄。
气体射束可能撞到操作员或周围的结构并发生“回弹”,从而导致操作员弄不清楚射束的真实来源位置。如果注意到这种难以检测的泄漏,就可以节省宝贵的检测时间。
类型 2:不明显的液体泄漏
对产品进行液体泄漏测试时,结果可能是产品不存在泄漏,但如果用示踪气体检漏法进行检测,就能够可靠地发现泄漏。
漏孔可以将漏液以非常缓慢的速度送到泄漏处的表面,以致于液体在到达物体外部的表面时,即被蒸发。液体蒸发速度非常快,在泄漏点无明显痕迹。
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